Ống phóng tia X: bia Rh / Điện thế 50kV / Dòng điện 1mA
Đầu dò huỳnh quang tia X: Đầu Silic Drift Detector (SDD) được làm lạnh bằng điện - hiệu ứng Peltier
Đầu dò tia X truyền qua: Lớp chất nhấp nháy Nai(Tl)
Ống dẫn tia X: Ống mao dẫn đơn sắc 10μm / 100μm không có bộ lọc
Hình ảnh quang học: Toàn bộ hình ảnh quang học của mẫu và hình ảnh phóng đại đồng trục
Kích thước bệ mẫu: XY : 100mm×100mm
Buồng mẫu: Buồng chân không/ chân không tối đa 300mm×300mm×80mm
Xử lý tín hiệu: Bộ xử lý kỹ thuật số (bộ INCA)
Phân tích định tính: Tự động nhận dạng/ Đánh dấu KLM/ Tìm đỉnh/ So sánh các phổ
Phân tích định lượng: FPM không theo chuẩn / Chuẩn FPM / FPM phù hợp file chuẩn/ Đường cong hiệu chuẩn / FPM đa lớp (đo độ dày) /Phân tích đa điểm(Max5000) / Kết quả đa điểm kết xuất ra file Excel / Quan sát phổ XGT-5000
Chức năng vẽ bản đồ: Hình ảnh tia X truyền qua / Hình ảnh nguyên tố/ Lập bản đồ phổ/ Lập bản đồ hình chữ nhật/ Tạo phổ / Thành phần RGB/ Đánh dấu tỉ lệ / Phân tích theo đường thẳng
Chức năng khác: Có thể khởi động đồng thời phần mềm XGT-5200.