Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường độ phân siêu giải cao - JSM 7610
Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường độ phân siêu giải cao - JSM 7610
Kính hiển vi JSM-7610F thuộc dòng kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao (ultra high resolution) cho phép quan sát, chụp ảnh phân giải cao ở quy mô nano
- Kính hiển vi JSM-7610F thuộc dòng kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao (ultra high resolution) cho phép quan sát, chụp ảnh phân giải cao ở quy mô nano - Dễ dàng lấy ảnh với độ phân giải cao, sử dụng đơn giản không đòi hỏi người sử dụng phải có kinh nghiệm nhờ súng phát xạ trường nhiệt Schottky, hệ thấu kính semi-in-lens dạng hình nón cho phép tạo chùm điện tử hội tụ cao ngay trong điều kiện dòng chiếu cao. Giao diện sử dụng mới, thân thiện hiệu quả. - Kính hiển vi là cơ sở cho phép các phân tích EDS/WDS, huỳnh quang catốt, phân tích định hướng tinh thể EBDS và các nhiệm vụ khác. - Bơm chân không phân tử tạo chân không cực cao, cho phép quan sát tốt vùng trên của bề mặt mẫu - điều không thể thực hiện được đối với kính SEM sử dụng dây tóc thông thường. - Có chức năng giảm tốc chùm tia (Chế độ Gentle Beam mode) cho phép quan sát các mẫu có độ dẫn thấp như gốm, vật liệu bán dẫn… - Bệ mẫu loại tự động cả 5 trục không chỉ ngăn chặn việc mẫu chạm vào detector mà còn đảm bảo việc di chuyển bệ mẫu chính xác theo điều kiện cài đặt để quan sát mẫu. - Súng phát xạ trường nhiệt tạo chùm điện tử hội tụ cao, ngay cả khi cường độ dòng lớn.
Thông số kỹ thuật:
1. Súng phát xạ trường với cathode Nhiệt - Bộ phát xạ: đơn tinh thể tungsten <310> 2. Dòng phát xạ: - Thay đổi theo 4 bước (2, 5, 10, 20 mA…), thường sử dụng 20 mA/ 200 mA - Căn chỉnh: lệch hướng cơ học và điện từ 3. Vùng điện thế hoạt động: 0,5 kV - 30 kV + 0,5 đến 2,9 kV: bước nhảy 10 V + 2,9 kV đến 30 kV: bước nhảy 100 V + 0,1 kV đến 4,0 kV (chế độ Gentle Beam): bước nhảy 100V 4. Độ phóng đại tối đa: 1.000.000 lần (1 triệu lần) + Độ phóng đại ở chế độ LM (LM mode): x25 đến x19.000 lần + Độ phóng đại ở chế độ SEM (SEM mode): x130 đến x1.000.000 (một triệu lần) + Hiệu chỉnh độ phóng đại tự động theo thế gia tốc và khoảng cách làm việc. + Độ phóng đại bất kỳ có thể được cài đặt trước cho mỗi chế độ ảnh như là độ phóng đại cố định. Người sử dụng có thể chuyển nhanh chóng từ độ phóng đại bất kỳ về độ phóng đại đặt trước. + Hiệu chỉnh hình ảnh quay cho khoảng cách làm việc (WD) trên mỗi chế độ EOS 5. Độ phân giải trên hình ảnh điện tử thứ cấp: + 1,0 nm (thế gia tốc 15 kV) + 1,5 nm (thế gia tốc 1kV- GB mode) + 3,0 nm (chế độ phân tích, thế gia tốc 15kV, WD 8 mm và dòng dò 5 nA) 6. Các dạng ảnh thu được: + Ảnh điện tử thứ cấp (SEI) + Ảnh điện tử tán xạ ngược (BEI) (tùy chọn: Composition (ảnh thành phần) / Topography (ảnh hình học) 7. Dòng dò: 10-12 tới 2x10-7 A + Đường kính dòng dò thấp ngay cả khi cường độ dòng cao: sử dụng cường độ dòng nhỏ loại bỏ tích điện đối với mẫu không phủ hay mẫu nhạy cảm với nhiệt. + Cường độ dòng dò rộng là cần thiết đối với phân tích nguyên tố, huỳnh quang catốt. Trong phân tích định lượng, yêu cầu quan trọng là duy trì cường độ dòng rộng. + Thiết kế của JMS 7610F cho phép điều khiển liên tục cường độ dòng bằng thấu kính ngưng, đồng thời không cần thay đổi khẩu độ thấu kính vật trừ trong ứng dụng WDS. Thiết kế quang học năng lượng cao (High Power Optics) hạn chế tối đa can thiệp của người dùng để đảm bảo chất lượng hình ảnh và phân tích cấu trúc nano cao nhất. + Khả năng ổn định dòng trong thời gian dài 8. Buồng mẫu: 5 trục X, Y, Z, T và R của bệ mẫu được điều khiển qua máy tính thông qua giao diện đồ họa - Độ dịch chuyển mẫu: + Trục X: 70mm + Trục Y: 50mm + Trục Z: 1.0 mm đến 40 mm + Thang nghiêng từ –5o đến +70o + Bệ mẫu quay tròn không dừng 360o